В рамках работ по направлению «Разработка высокопроизводительных АСМ и высокоскоростных АСМ-головок» получены следующие основные результаты.

Получен патент на изобретение «Устройство подвижки» №2664783;

Разработан быстрый сканер для АСМ линии ИНТЕГРА – RapidScan 100, позволяющий проводить сканирование со скоростью до 10 строк в секунду, начаты мероприятия по его коммерциализации.
Разработанная технология RapidScan представляет собой комбинацию механического дизайна и высококачественных цифровых электронных решений подавления резонанса, которые позволяют на порядок ускорить АСМ, сохраняя 90 мкм XY диапазон сканирования.
RapidScan сканер оснащен высокоточными емкостными датчиками с обратной связью по всем трем осям.

Разработан высокопроизводительный Атомно-Силовой Микроскоп ВЕГА для микроэлектроники, позволяющий осуществлять контроль пластин и полупроводниковых структур диаметром до 200 мм.
Он имеет следующие основные характеристики:

• максимальная скорость сканирования 10 строк/сек без потери качества изображения;
• возможность выбора источника излучения оптической системы регистрации между лазерным диодом и суперлюминисцентным диодом с длиной волны 850 нм;
• размер образца до 200×200 мм;
• диапазон перемещения образца системой моторизованного позиционирования 200×200 мм, точность позиционирования образца не хуже 1 мкм;
• максимальная скорость перемещения образца не менее 10 мм/с.