В рамках работ по направлению «Разработка прибора для оптической и ИК микроскопии и спектроскопии с нанометровым пространственным разрешением» получены следующие основные результаты.
 

Создана система для ИК микроскопии нанометрового пространственного разрешения (ИНТЕГРА Нано ИК), имеющая следующие основные технические характеристики:

• диапазон сканирования образцом 100×100×10 мкм;
• тип используемого лазера: СО2, длина волны перестраиваемая в диапазоне 10.3-10.8 мкм, допускается использование квантово-каскадных лазеров с излучением в диапазоне от 3 до 12 мкм;
• система позволяет конфигурирование для работы в р-СБОМ в видимом спектральном диапазоне;
• система позволяет конфигурирование для работы в ТГц диапазоне;
• ввод излучения к зонду через параболическое зеркало с числовой апертурой 0.35;
• допустимый спектральный диапазон в ИК области спектра: 3-12 мкм;
• пространственное разрешение при работе в методике рассеивающей сканирующей ближнепольной оптической микроскопии 10 нм.

Работы по созданию ближнепольного оптического микроскопа видимого и ИК диапазонов с нанометровым пространственным разрешением удостоены Премии Правительства Москвы молодым ученым в номинации «Приборостроение».

Разработан и изготовлен АСМ для эксперимантальной установки, реализующей микроскопию и спектроскопию нанометрового пространственного разрешения в ТГц диапазоне. Соответствующие результаты исследования графена в терагерцовом диапазоне опубликованы в работе Jiawei Zhang et al., Terahertz Nanoimaging of Graphene, ACS Photonics, 2018, 5(7), pp. 2645-2651.

Разработана и изготовлена система для измерения характеристик двухкоординатного плоскопараллельного пьезопозиционера, разработана и аттестована в установленном порядке соответствующая методика измерений.